FESTO電磁閥CPV14-M1H-5LS-1/8

真空閥門在真空系統(tǒng)中的作用：
1.開關氣路，當閥1和閥4關閉，閥2打開時，機械真空泵Ⅲ對容器I抽真空，氣流流經預真空抽氣管路；當閥2關閉，閥4打開時，機械泵可單獨對擴散泵抽真空；當閥1和閥4同時打開時，擴散泵和機械泵可同時工作，對容器進行抽空，此時氣流流經擴散泵。可見，閥門在這種操作中的作用是開關氣路，改變氣流的流經路線。
2.控制氣流大小，調節(jié)真空度在圖1中，調節(jié)閥1的閥蓋開啟角度，即可調節(jié)流經管路的氣流量大小；關閉閥2和閥4，通過放氣閥3可以給機械泵Ⅲ的入口放成大氣；通過放氣閥5可以調節(jié)容器內的真空度。
3.定量充氣，在玻璃閥的柱塞上有個一定體積的小洞，當小洞轉向右邊和高壓氣瓶連通時，小洞中就可充滿高壓氣體；當它轉向左邊和真空容器連通時，就把該體積的高壓氣體放進容器中去，這樣就起到了定量充氣的作用。
真空閥門的種類繁多，通常按閥門的職能、結構型式、驅動方式、材料和用途進行分類。
參數定義：
1.公稱通徑：(nominal diameter)，又稱平均外徑(mean outside diameter)，表示符號DN，就是各種管子與管路附件的通用口徑。同一公稱直徑的管子與管路附件均能相互連接，具有互換性.它不是實際意義上的管道外徑或內徑，雖然其數值跟管道內徑較為接近或相等，為了使管子、管件連接尺寸統(tǒng)一，采用公稱直徑（也稱公稱口徑、公稱通徑)。例如焊接鋼管按厚度可分為薄壁鋼管、普通鋼管和加厚鋼管。其公稱直徑不是外徑，也不是內徑，而是近似普通鋼管內徑的一個名義尺寸。每一公稱直徑，對應一個外徑，其內徑數值隨厚度不同而不同。公稱直徑可用公制mm表示，也可用英制in表示。管路附件也用公稱直徑表示，意義同有縫管。
2.公稱壓力：(Nominal pressure)，表示符號PN，在一定溫度下應用時允許的大工作壓力。對碳鋼閥體的控制閥，指200℃以下應用時允許的大工作壓力；對鑄鐵閥體，指120℃以下應用時允許的大工作壓力；對不銹鋼閥體的控制閥，指250℃以下應用時允許的大工作壓力。當工作溫度升高時，閥體的耐壓會降低。例如，公稱壓力為6.4MPa（PN64）的碳鋼控制閥，用于300℃時的耐壓為5.2MPa，用400℃時的耐壓為4.1MPa，用于450℃時的耐壓為2.9MPa。因此，控制閥公稱壓力的確定不僅要根據高工作壓力，還需根據高工作溫度和材質特性，而不僅僅只需滿足公稱壓力大于工作壓力。

費斯托電磁閥型號舉例：

MFH-5-1/4-B 24VDC
MFH-5-1/8-B
JMN1H-5/2-D-2-C
537953 VMPA2-M1H-J-PI
151870 MFH-5/2-D-3-C
MN1H-5/2-D-1-FR-C
CPV10-M1H-5LS-M7
566500 VUVG-L14-B52-T-G18-1P3
MFH-5/3G-1/4-B
MFH-5-1/8-B 19758
VUVG-L14-M52-AT-G18-1P3
30484 MFH-5/3G-1/8-B
MFH-3-1/4
JMFH-5-1/4-S-B含線圈AC220V
CPV14-M1H-5LS-1/8 161360
MFH-3-3/4 DC24V 要含線圈和插頭
MFH-5-3/8-B+MSFG-24/42-50/60
JMFH-5-1/8
MEH-5/3E-1/8-P-B